微型流量测量用流量计有哪些类型

用于微型流量测量的流量计类型多样，选择合适的类型需根据你测量的介质（气体/液体）、所需精度以及具体应用来决定。

下表是各类常见微型流量计的核心对比，能帮你快速了解：

类型 测量原理 主要特点 典型应用场景 适用介质

热式质量流量计 通过检测流体流过热敏元件时的热量变化来推算质量流量。 响应快、精度高、可直接测量气体质量流量。测量微小流量时优势明显。 气体分析、真空镀膜、呼吸机、半导体工艺气体控制。 气体

科里奥利质量流量计 利用流体流过振动管时产生的科氏力效应来直接测量质量流量。 可直接、高精度测量质量流量，不受流体物性影响。 实验室精密测量、制药、高精度灌装。 液体、气体

层流压差式流量计 基于流体在层流状态下产生的压差与流量成正比的原理。 量程比宽、线性输出、对气体测量尤其准确。 气密性检测（如手机防水测试）、气体精密测控。 气体

超声波流量计 测量超声波在顺流与逆流传播的时间差来推算流速。 非接触式测量，不干扰流场，安装方便，适用于微小管径。 实验室、医药、精细化工的微小管道液体流量监测。 液体

MEMS微型流量传感器 利用微机电系统技术制造的多种原理（热式、差压式等）传感器。 体积极小、集成度高、响应速度快、适合大批量生产。 微流控芯片、生物医学分析、便携式设备、无人机引擎控制。 液体、气体

如何选择适合你的微型流量计

选择时，可以遵循以下思路：

明确介质类型

测气体：优先考虑热式质量流量计或层流压差式流量计，它们专为气体微流量优化，精度高。

测液体：超声波流量计（外夹式）和科里奥利质量流量计是常见选择。前者安装简便，后者精度极高。

确定关键指标

精度要求：实验室或过程控制对精度要求苛刻，可选科里奥利或高端热式。

量程范围：明确最小和最大流量，确保所选流量计的量程能覆盖。例如，热式气体流量计可低至0.001毫升/分钟。

响应速度：动态过程控制需要响应快的类型，如热式或MEMS传感器。

安装条件：管道是否允许开孔或切断？外夹式超声波流量计可在不破坏管道的情况下安装，非常方便。

考虑特殊需求

如果需要超高集成度或极小的体积（例如嵌入到芯片或手持设备），基于MEMS技术的传感器是理想选择。

若流体具有腐蚀性或卫生等级要求高，需特别注意传感器的接触部件材质。